Filmetricsの薄膜抵抗測定デバイス開発の源泉はにまさる30年に経験したKLAの薄膜抵抗測定技術、20年デスクトップ測定装置開発経験のあるFilmetricsチームは完備したデスクトップブロック抵抗測定製品。KLA薄膜抵抗測定技術としては、接触（4 PP）及び非接触（EC）方法が挙げられる。

FilmetricsのR 50シリーズブロック抵抗測定器は各種基材に堆積する導電性シートと薄膜を測定することができ、10桁の範囲にまたがる抵抗率、次のものが含まれます。

半導体ウエハ基板

ガラス基板

プラスチック（フレキシブル）基材

PCBパターンフィーチャー

太陽電池

平板表示レイヤーとパターン化フィーチャー

きんぞくはく

二、主な機能

lぎじゅつ仕様

三、応用

以下の項目を含むが、これらに限定されない広範な測定をサポートします。

金属膜厚、基板厚、ブロック抵抗、抵抗率、導電率、多層膜